大真空槽 (E-1)

Pictures

Leakage test

on Jan. 30th, 2018 by K.Nagano

国立天文台(数年間大気中で保管)から移送したあと、初めての真空引きの際のリークチェック。

ロータリーポンプで1日真空引きした後、バルブを締めて数時間放置して圧力上昇を調べた。

結果としては、およそ6x10^-4 Pa*m^3/sのリークが認められた。これがどういう原因かは調べていない。(どこかのフランジのリーク?壁面のガス分子の脱離?)

LeakageTest2.png

on Feb. 7th, 2018 by K.Nagano

最初のリークテスト(2018年1月30日)から、1週間ロータリーポンプで真空引きを続けた後、もう一度リークテストを行った。 バルブを締めて数時間放置して圧力上昇を調べた。

結果としては、およそ1.1x10^-4 Pa*m^3/sのリークが認められた。前回のリークテスト時から約1/6になっている。したがって、前回のリークの原因は壁面に吸着していた分子(水?)の脱離と予想される。そうなると今回のものはどこかのフランジが原因か?底面のフランジのシールは交換していないのでそこの可能性はある。

ちなみに、下の図の圧力が8 Paくらいになったときのディップは、今回と同様のテストをもう一度行った際にも同様のタイミングで(圧力が8 Paくらいになったとき)起きたため、真空槽の問題ではなく、使用している真空ゲージ(ゲージ: M-336MX/SP, コントローラ: M-601GC)が原因だと思われる。M-336MXは、クリスタルイオンゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせたコンビネーションゲージであるため、その切り替えが起こっているせいだと思われる。(要マニュアルの確認, クリスタルイオンゲージ M-336MX, 真空計コントローラ M-601GC)

LeakageTest_180207.png

on Nov. 30th, 2018 by K.Nagano

ドライポンプで1日真空引きした後、バルブを締めて数時間放置して圧力上昇を調べた。 リーク量はおよそ、3.9x10^-4 Pa*m^3/sであった。

詳細はe-log #2006, e-log #2064

on July 13th, 2021 by Y.Oshima

長野さんが卒業され、2年ぶりの真空引きを行った。真空ポンプはTOBAに移動されたので、同じもの(樫山工業 NeoDry30E)を新調した。

1晩真空引きした後、バルブを締めて圧力上昇を調べた。リーク量は長野さんの初めてのテストと同等だった。

詳細はe-log #5927

on July 26th, 2021 by Y.Oshima

1週間真空引きした後、バルブを締めて圧力上昇を調べた。リーク量は長野さんの2回目のテストと同等だった。 前回のリークの原因は壁からの水分子の脱離、今回のリークの原因は底面のフランジと考えられる。

詳細はe-log #5953

Related e-log

!!!教訓:毎回グリースを塗る!!!


添付ファイル: fileVacuumChamberLowerDrawing.pdf 682件 [詳細] fileLeakageTest_180207.png 723件 [詳細] fileLeakageTest2.png 755件 [詳細] fileLeakageTest.png 428件 [詳細] fileOutsideView.jpg 857件 [詳細] fileInsideView.jpg 796件 [詳細] file1110_Report_Nagano.pdf 1058件 [詳細]

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Last-modified: 2021-09-04 (土) 12:19:49