#author("2021-08-10T14:14:21+09:00","default:LabMember","LabMember") #author("2021-09-04T12:19:49+09:00","default:LabMember","LabMember") * 大真空槽 (E-1) [#k1ff7b0b] #contents ** Pictures [#e1e538f2] - Outside view #ref(OutsideView.jpg,,10%); - Inside view #ref(InsideView.jpg,,10%); - Report about transfer from NAOJ (including schematic view of flanges) #ref(1110_Report_Nagano.pdf) - Drawing (Lower part) #ref(VacuumChamberLowerDrawing.pdf) ** Leakage test [#i4cfa4dc] *** on Jan. 30th, 2018 by K.Nagano [#zad442e0] 国立天文台(数年間大気中で保管)から移送したあと、初めての真空引きの際のリークチェック。 ロータリーポンプで1日真空引きした後、バルブを締めて数時間放置して圧力上昇を調べた。 結果としては、およそ6x10^-4 Pa*m^3/sのリークが認められた。これがどういう原因かは調べていない。(どこかのフランジのリーク?壁面のガス分子の脱離?) #ref(LeakageTest2.png,,40%); *** on Feb. 7th, 2018 by K.Nagano [#i5b6d248] 最初のリークテスト(2018年1月30日)から、1週間ロータリーポンプで真空引きを続けた後、もう一度リークテストを行った。 バルブを締めて数時間放置して圧力上昇を調べた。 結果としては、およそ1.1x10^-4 Pa*m^3/sのリークが認められた。前回のリークテスト時から約1/6になっている。したがって、前回のリークの原因は壁面に吸着していた分子(水?)の脱離と予想される。そうなると今回のものはどこかのフランジが原因か?底面のフランジのシールは交換していないのでそこの可能性はある。 ちなみに、下の図の圧力が8 Paくらいになったときのディップは、今回と同様のテストをもう一度行った際にも同様のタイミングで(圧力が8 Paくらいになったとき)起きたため、真空槽の問題ではなく、使用している真空ゲージ(ゲージ: M-336MX/SP, コントローラ: M-601GC)が原因だと思われる。M-336MXは、クリスタルイオンゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせたコンビネーションゲージであるため、その切り替えが起こっているせいだと思われる。(要マニュアルの確認, [[クリスタルイオンゲージ M-336MX>https://granite.phys.s.u-tokyo.ac.jp/wiki/Lab/?AndoLabInstrumentsM336MX]], [[真空計コントローラ M-601GC>https://granite.phys.s.u-tokyo.ac.jp/wiki/Lab/?AndoLabInstrumentsM601GC]]) #ref(LeakageTest_180207.png,,40%); *** on Nov. 30th, 2018 by K.Nagano [#w285c042] ドライポンプで1日真空引きした後、バルブを締めて数時間放置して圧力上昇を調べた。 リーク量はおよそ、3.9x10^-4 Pa*m^3/sであった。 詳細は[[e-log #2006>https://granite.phys.s.u-tokyo.ac.jp/elog/?p=2006]], [[e-log #2064>https://granite.phys.s.u-tokyo.ac.jp/elog/?p=2064]]。 *** on July 13th, 2021 by Y.Oshima [#x9b2f3a6] 長野さんが卒業され、2年ぶりの真空引きを行った。真空ポンプはTOBAに移動されたので、同じもの(樫山工業 NeoDry30E)を新調した。 1晩真空引きした後、バルブを締めて圧力上昇を調べた。リーク量は[[長野さんの初めてのテスト>#zad442e0]]と同等だった。 詳細は[[e-log #5927>https://granite.phys.s.u-tokyo.ac.jp/elog/?p=5927]]。 *** on July 26th, 2021 by Y.Oshima [#rbd73984] 1週間真空引きした後、バルブを締めて圧力上昇を調べた。リーク量は[[長野さんの2回目のテスト>#i5b6d248]]と同等だった。 前回のリークの原因は壁からの水分子の脱離、今回のリークの原因は底面のフランジと考えられる。 詳細は[[e-log #5953>https://granite.phys.s.u-tokyo.ac.jp/elog/?p=5953]]。 ** Related e-log [#edb58a2c] - [[#1604>https://granite.phys.s.u-tokyo.ac.jp/elog/?p=1604]], [[#1613>https://granite.phys.s.u-tokyo.ac.jp/elog/?p=1613]] Oct. 16th, 2018 by K.Nagano 半分近いナットがスタックしていた。フランジを開けるために割った。 '''''!!!教訓:毎回グリースを塗る!!!''''' - [[#1997>https://granite.phys.s.u-tokyo.ac.jp/elog/?p=1997]] Nov. 24th, 2018 by K.Nagano 真空引きテストに向けてすべてのフランジを締めた。 - [[#2913>https://granite.phys.s.u-tokyo.ac.jp/elog/?p=2913]] June 17th, 2019 by K.Nagano 真空ゲージ周辺の真空槽が焼けた?フランジ溶接時の可能性もある。 - [[#3893>https://granite.phys.s.u-tokyo.ac.jp/elog/?p=3893]] Dec. 10th, 2019 by K.Nagano 真空ポンプをE-1(for DECIGO)からTOBAへ移動した。 - [[#5981>https://granite.phys.s.u-tokyo.ac.jp/elog/?p=5981]] Aug. 6th, 2021 by Y.Oshima F?フランジを異形変換継手(JIS150->KF40)と1CH PMファイバフィードスルーに交換した。