国立天文台(数年間大気中で保管)から移送したあと、初めての真空引きの際のリークチェック。(2018年1月30日)
ロータリーポンプで1日真空引きした後、バルブを締めて数時間放置して圧力上昇を調べた。
結果としては、およそ6x10^-4 Pa*m^3/sのリークが認められた。これがどういう原因かは調べていない。(どこかのフランジのリーク?壁面のガス分子の脱離?)
最初のリークテスト(2018年1月30日)から、1週間ロータリーポンプで真空引きを続けた後、もう一度リークテストを行った。(2018年2月7日) バルブを締めて数時間放置して圧力上昇を調べた。
結果としては、およそ1.1x10^-4 Pa*m^3/sのリークが認められた。前回のリークテスト時から約1/6になっている。したがって、前回のリークの原因は壁面に吸着していた分子(水?)の脱離と予想される。そうなると今回のものはどこかのフランジが原因か?底面のフランジのシールは交換していないのでそこの可能性はある。
ちなみに、下の図の圧力が8 Paくらいになったときのディップは、今回と同様のテストをもう一度行った際にも同様のタイミングで(圧力が8 Paくらいになったとき)起きたため、真空槽の問題ではなく、使用している真空ゲージ(ゲージ: M-336MX/SP, コントローラ: M-601GC)が原因だと思われる。M-336MXは、クリスタルイオンゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせたコンビネーションゲージであるため、その切り替えが起こっているせいだと思われる。(要マニュアルの確認)